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高精度痕量氣體分析儀（TGA-323）是一款專為半導(dǎo)體行業(yè)空氣分子污染分析（AMC）測(cè)量氯化氫(HCl)而設(shè)計(jì)的專業(yè)儀器，采用光腔衰蕩光譜技術(shù)（CRDS），具有很高的靈敏度，其檢測(cè)下限可達(dá)ppt級(jí)別。不需要現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)，非常適合連續(xù)測(cè)量。
該分析儀內(nèi)部管路都進(jìn)行了特殊涂層，可以有效的減小氯化氫(HCl)分子在管道壁上的吸附，加速測(cè)量的響應(yīng)時(shí)間并消除測(cè)量偏差。同時(shí)分析儀采用小體積腔設(shè)計(jì)，能夠進(jìn)一步提升測(cè)量速度。
腔衰蕩光譜（CRDS）與離子遷移譜（IMS）和離子色譜傳統(tǒng)技術(shù)相比，具有探測(cè)下限低、響應(yīng)時(shí)間快、無需耗材等顯著優(yōu)勢(shì)，該分析儀具有更優(yōu)的長期穩(wěn)定性和低維護(hù)性，是半導(dǎo)體行業(yè)AMC連續(xù)監(jiān)測(cè)的理想選擇。
系統(tǒng)特點(diǎn)
ppt 級(jí)別的靈敏度、精度以及準(zhǔn)確度；
免標(biāo)定，低漂移；
響應(yīng)時(shí)間快；
連續(xù)監(jiān)測(cè)；
無耗材成本。
性能指標(biāo)
HCl
精度（1σ,10 秒 /100 秒）
＜ 45ppt/15ppt
檢測(cè)下限（3σ,100 秒）
45ppt
線性
±1%
零點(diǎn)準(zhǔn)確度
±50ppt
響應(yīng)時(shí)間 (T90/10+T10/90)
＜ 180 秒
量程范圍
0 ～ 2ppm
其他性能參數(shù)
測(cè)量技術(shù)
光腔衰蕩光譜（CRDS）技術(shù)
光腔溫度控制
±0.005℃
光腔壓強(qiáng)控制
±0.0002atm
樣品流量
＜ 2slm
進(jìn)氣接口
? 英寸 Swagelok®
環(huán)境溫度
15 ～ 35℃（工作）， -10 ～ 50℃（儲(chǔ)存）
環(huán)境濕度
＜ 99%RH（無冷凝）
通信接口
RS232 、USB、以太網(wǎng)
交互界面
7 寸液晶觸摸屏
電源
85 ～ 264VAC ，50/60Hz
總功耗
70W（分析儀） +300W（外置泵）
安裝形式
工作臺(tái)式或 19 英寸機(jī)架式
儀器尺寸
（178×432×602）mm（H×W×D）
重量
≤28.05kg（包括外置泵）
配件（隨附）
外置真空泵，客戶端分析軟件
留言板
京公網(wǎng)安備 11010802025807號(hào)
