TGA-321 NH3高精度痕量氣體分析儀

TGA-321 NH3高精度痕量氣體分析儀
高精度痕量氣體分析儀（TGA-321）是一款專(zhuān)為半導(dǎo)體行業(yè)空氣分子污染分析（AMC）測(cè)量氨氣(NH3)而設(shè)計(jì)的專(zhuān)業(yè)儀器，采用光腔衰蕩光譜技術(shù)（CRDS），具有很高的靈敏度，其檢測(cè)下限可達(dá)ppt級(jí)別。不需要現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)，非常適合連續(xù)測(cè)量。

產(chǎn)品名稱(chēng)：TGA-321 NH3高精度痕量氣體分析儀
產(chǎn)品型號(hào)：
產(chǎn)品廠商：其它品牌
產(chǎn)品文檔：

簡(jiǎn)單介紹：

高精度痕量氣體分析儀（TGA-321）是一款專(zhuān)為半導(dǎo)體行業(yè)空氣分子污染分析（AMC）測(cè)量氨氣(NH3)而設(shè)計(jì)的專(zhuān)業(yè)儀器，采用光腔衰蕩光譜技術(shù)（CRDS），具有很高的靈敏度，其檢測(cè)下限可達(dá)ppt級(jí)別。不需要現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)，非常適合連續(xù)測(cè)量。

產(chǎn)品概述
技術(shù)參數(shù)
相關(guān)技術(shù)文檔

性能指標(biāo)

性能指標(biāo)	NH3
精度（1σ,10 秒 /100 秒）	＜ 300ppt/100ppt
檢測(cè)下限（3σ,100 秒）	300ppt
線性	±1%
零點(diǎn)準(zhǔn)確度	±100ppt
響應(yīng)時(shí)間 (T90/10+T10/90)	＜ 180 秒
量程范圍	0 ～ 10ppm

其他性能參數(shù)
測(cè)量技術(shù)	光腔衰蕩光譜（CRDS）技術(shù)
光腔溫度控制	±0.005℃
光腔壓強(qiáng)控制	±0.0002atm
采樣流量	＜ 2slm
進(jìn)氣接口	? 英寸 Swagelok®
環(huán)境溫度	15 ～ 35℃（工作）， -10 ～ 50℃（儲(chǔ)存）
環(huán)境濕度	＜ 99%RH（無(wú)冷凝）
通信接口	RS232 、USB、以太網(wǎng)
交互界面	7 寸液晶觸摸屏
電源	85 ～ 264VAC ，50/60Hz
總功耗	70W（分析儀） +300W（外置泵）
安裝形式	工作臺(tái)式或 19 英寸機(jī)架式
儀器尺寸	（178×432×602）mm（H×W×D）
重量	≤28.05kg（包括外置泵）
配件（隨附）	外置真空泵，客戶(hù)端分析軟件

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TGA-321 NH3高精度痕量氣體分析儀

TGA-321 NH3高精度痕量氣體分析儀

產(chǎn)品名稱(chēng)：TGA-321 NH3高精度痕量氣體分析儀